Нанолитография — это область нанотехнологий, связанная с изучением и применением в производстве структур нанометрового размера, то есть узоров, по крайней мере, с одним поперечным размером от 1 до 100 нм.
Нанолитография — это искусство и наука гравирования, письма или печати на микроскопическом уровне, где размеры символов составляют порядка нанометров (единиц 10-9 метров или миллионных долей миллиметра).
Связанные журналы по нанолитографии
Nano Research, Scripta Materialia, Nanoscale, Lab on a Chip - Miniaturization for Chemistry and Biology